半导体大厂都是他客户!FlowVIEW挑战奈米级湿性材料检测

时间:2020-06-20 作者:

半导体大厂都是他客户!FlowVIEW挑战奈米级湿性材料检测
现代科技应用随着製程与材料都进入奈米等级快速推进,现行液态材料的奈米观测方案多以光学显微镜为主,量测能力至 200nm 为其物理极;如选用利用电子束聚焦当光源推进量测能力的电子显微镜,则必须在真空环境下才有可能成像,但液态检测样本因无法适存于奈米科技检测用电子显微镜的真空腔槽,因此难以克服原样观测的技术瓶颈。
为了解决现有技术的侷限,使光学显微镜可检测奈米级湿性样本,FlowVIEW创办人暨执行长李信宏从任职工研院时期开始,便潜心研发适用于光学显微镜和电子束显微镜的基本套件,2017年7月李信宏从工研院独立出来开始创业,并于短时间推出「Flow AOI Solution」基本套组,使奈米级湿性材料检测可以不受限于硬体设备,提供相较于全球市面上同级产品,更加多元化且智慧化的分析服务。
突破现有技术侷限,Flow AOI Solution化不可能为可能!
电子显微镜运作原理须将观察腔抽真空,但无论半导体、生技、能源、生医药产业所需观测的湿性样本却会因真空环境导致观测结构无法负荷抽真空后的内部压力而损毁,因此,几十年以来行业中的观测几乎都採取将湿性材料烘乾后再进电子显微镜观察,如果转而使用的近亿级的TEM,虽可以直接观测湿性材料,但是TEM的电子束仍会直接打穿材料,因此没有办法观测到活体细胞。
「我们在 SEM底下可以使用的观测晶片,也就是由我们的微流控晶片所衍伸出来的系统。」FlowVIEW 的专案经理李虹提到,这个独特的解决方案「Flow AOI Solution」基本套组包含 Wet cell 晶片模组、Wet cell安装模组、液体套件监控模组,其中,晶片模组可将湿性样本直接送入真空腔的电子显微镜内,且FlowVIEW所开发的的观测薄膜只有20至50奈米,保护受观测物质在抽真空的过程中结构不被破坏,相当适用于研究室的实验器材与产线的自动化检测。
填补奈米等级监测的缺口,200到1奈米的观测不再是天方夜谭
「我们的核心技术虽然是晶片,但我们一系列检测相关设备,包括软体也能切合企业所需,因此半导体公司如台积电、三星电子、LG都是我们的客户。」,创办团队认为 FlowVIEW 之所以能在创业初期就拥有较为显赫的客户,其原因在于这些大厂的材料及机器十分昂贵,经不起大规模的损失,因此更需要精确的解决方案去做检测,保护产品免于风险,进而恐固商誉、降低实体资材的损失。
半导体大厂都是他客户!FlowVIEW挑战奈米级湿性材料检测
不只是科技大厂,目前包括化妆品、生医产业界等,不管是对人体有益/害的物质、化妆品含料都逐渐朝奈米等级发展,但观测界的技术却迟迟无法跟上,而 FlowVIEW 恰好不足了当中的落差。「现在大家常常使用的 200 奈米光学显微镜,就已经是极限了,即便科学家常用的 TEM 可以观测 1奈米以下的物质,但是 200 到 1 奈米的观测一直以来都存在缺口。」李虹强调,过去有半导体厂因更换供应商的原料出了问题,但线上晶圆检验仪器无法检测出该异常的情况,造成部分晶圆良率偏离,损失不计其数。
湿性材料的奈米级元素常有团聚成粒子的状况,致使抛光时这些粒子就会刮伤产品表面,现有的检测系统却难以观测。虽有国际厂商宣称可观测到 30 - 50 奈米左右的湿性材料,但 FlowVIEW 和iST宜特科技 合作的实验检测结果更加稳定。
从观测到AIoT串联软硬体,Flow AOI Solution可达到两秒内即时回报
随着半导体製程越加精密,奈米粒子的观测市场预计在2025年可达到1180亿美金的市值,「积体电路发明的这六十年,一直没办法做到湿製成材料的监测,我们总结了很多以往的观测方式,Flow AOI Solution 现在已可以做到下至 1 奈米、上至 1 毫米,无论在量测能力、距离、画素,我们都处于业界领先的位置。」,团队表示,根据现有客户验证可为湿製程良率提升 5 个百分点。
半导体大厂都是他客户!FlowVIEW挑战奈米级湿性材料检测
「若想要将解决方案导入整个半导体产业界的话,我们必须加入AIoT去做辨识才有办法在他们的产线上做自动检测。」李虹分享,自动检测可达到两秒内即时反应液体样本是否出现状况,因此,相对于国外竞争者,FlowVIEW 能够掌握的技术更加精实,在目前的市场上不容易被取代。除此之外,其基本套件可观测到各种奈米结构的力、光、电、磁等物理与化学性质,包括所有形态学相关资讯,如成分、尺寸、分布、形状等都能即时检测,且不需稀释、能以原液观察,这显然已经突破现有检测方法的极限,达到具有前瞻性的检测技术标準。
「我们拥有最重要的晶片研发、微流控系统,以及最独家的全球独家影像资料库,因为没人可以拍湿性材料,建立足够的资料库。」李虹补充说道,未来,FlowVIEW也不排除将服务导入其他的产业界,以自动的监测系统以及湿性材料的数据资料,提供更加符合需求的客製化解决方案。
展望生医产业未来,期待为癌症标靶药物尽一份心力
未来,超越光学检测等级的湿性奈米材料会越来越普及,在各产业市场也将逐渐扩大,李虹解释:「过去,同业认为大部分的药品利用光学检测就足够了,但当医疗技术越来越先进,治疗癌症的奈米标靶药物研发趋于成熟,过往的观测方法也就不敷使用了。」FlowVIEW期望能将湿性材料的观察导入医疗产业,使医学研究者能将细胞放在具温控的原液培养皿中进行观察,如此一来,细胞才能在活体的情况下被完整监控。
「将解决方案导入医疗产业,是我们更远的目标,希望未来有一天,因为奈米级标靶药物的研发,癌症也能对症下药,转而成为慢性病,而非绝症。」FlowVIEW创办人暨执行长李信宏说道,FlowVIE目标于未来十年于欧盟、美国建立FDA认证,缔造世界级奈米检测仪器的新标準。